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2023³â 6¿ù¿¡´Â ±âÁ¸ EUV Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®º¸´Ù ÇØ»ó·ÂÀ» ³ôÀÎ ¡®ÇÏÀÌ ´º¸Þ¸®ÄþîÆÛó(NA) ±ØÀڿܼ±¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¡¯ °³¹ß¿¡ µé¾î°¬´Ù. µ¿Áø½ê¹ÌÄÍÀº ÀÌ ¼ÒÀ縦 ¿Ã »ó¹Ý±â »ó¿ëÈÇÏ´Â °Ô ¸ñÇ¥Àε¥ ÀÌ¹Ì »ï¼ºÀüÀÚ¿Í SKÇÏÀ̴нº µî¿¡¼ ¼±ÁÖ¹®À» ¹Þ¾Ò´Ù.
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